产品参数
● 高精度MFC流量控制,响应速度快
● 免除更换多种钢瓶气的繁琐工序,长期可靠运行
● 气体稀释比动态可调,可根据需要选配不同流量计组合
● 可对MFC进行线性校准、自动修正气体质量流量转换系数
● 触摸液晶屏,操作简单方便
● 通过电磁兼容测试(EMC)(符合EN61000-6-2:2005标准)
● 输出配气流量可设定、调节
● 通过EMC电磁兼容测试,(符合EN61000-6-2:2005标准)
● 高精度MFC流量控制,响应速度快
● 免除更换多种钢瓶气的繁琐工序,长期可靠运行
● 气体稀释比动态可调,可根据需要选配不同流量计组合
● 可对MFC进行线性校准、自动修正气体质量流量转换系数
● 触摸液晶屏,操作简单方便
● 通过电磁兼容测试(EMC)(符合EN61000-6-2:2005标准)
● 输出配气流量可设定、调节
● 通过EMC电磁兼容测试,(符合EN61000-6-2:2005标准)